檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Sheng-Lyang Jang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="光波導"
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本論文中主要利用完善的次微米波導原理、I-Line微影技術以及0.02 高解析度光學步進馬達來證實我們所製作出來的高效率矽線波導。損耗造成的主要原因為表面的射散問題,所以最佳的蝕刻氣體流量控制以及硬…